Đặc điểm mục tiêu của FeCrAl
Hình dạng mục tiêu FeCrAl: Mục tiêu phẳng; mục tiêu có hình dạng-tùy chỉnh. Độ tinh khiết mục tiêu FeCrAl: 3N. Kích thước mục tiêu của FeCrAl: Được gia công theo bản vẽ hoặc tùy chỉnh theo thông số kỹ thuật.
Phương pháp chuẩn bị cho mục tiêu phún xạ hợp kim nhôm-crom-
Chuẩn bị nguyên liệu thô và trộn bột: Bột sắt, crom và nhôm có độ tinh khiết cao được chọn và cân theo tỷ lệ thành phần mục tiêu. Để ngăn chặn quá trình oxy hóa bột nhôm, toàn bộ quá trình trộn được tiến hành trong môi trường khí trơ (ví dụ: argon).
Thiết kế lớp phủ và đóng gói: Lớp phủ kim loại được thiết kế dựa trên kích thước cuối cùng cần thiết cho mục tiêu phún xạ và bột hợp kim hỗn hợp được nạp vào lớp bọc này.
Xử lý khử khí: Lớp bọc chứa đầy bột trải qua quá trình khử khí chân không ở nhiệt độ cao- để loại bỏ các khí bị hấp phụ trong các khoảng kẽ của bột; Bước này rất quan trọng để đảm bảo mật độ của vật liệu mục tiêu cuối cùng.
Ép đẳng nhiệt nóng (HIP): Lớp bọc kín được đặt vào lò ép đẳng nhiệt nóng, trong đó, dưới tác động kết hợp của nhiệt độ cao và áp suất đồng đều, lớn, bột trải qua quá trình cố kết trực tiếp để tạo thành phôi mục tiêu dày đặc.
Gia công: Sử dụng các kỹ thuật xử lý cơ học khác nhau-chẳng hạn như tiện và phay-phôi được gia công thành sản phẩm mục tiêu phún xạ cuối cùng, đáp ứng tất cả các yêu cầu về kích thước và độ chính xác được chỉ định.
Các ứng dụng của mục tiêu phún xạ hợp kim nhôm sắt{0}}crom{1}}
Hàng không vũ trụ: Cánh tuabin động cơ, lớp phủ liên kết cho lớp phủ cách nhiệt trong buồng đốt; cung cấp khả năng chống lại quá trình oxy hóa-ở nhiệt độ cao và ăn mòn nóng.
Năng lượng & Điện: Tường nước nồi hơi, tua-bin khí và các bộ phận-nhiệt độ cao trong nhà máy điện hạt nhân; đóng vai trò là lớp phủ chống-ăn mòn và chống mài mòn-.
Thiết bị công nghiệp: Con lăn lò xử lý nhiệt, khuôn thủy tinh và lớp phủ lót bên trong cho lò phản ứng hóa học.
Điện tử / Cảm biến: Lớp rào cản khuếch tán, điện cực, máy đo biến dạng và màng mỏng từ tính.
Khi được sử dụng làm "vật liệu mục tiêu", mục tiêu hợp kim Fe{0}}Cr{1}}Al có dạng tấm phẳng hoặc ống quay có kích thước cụ thể; chúng phải tuân theo các yêu cầu đặc biệt nghiêm ngặt về độ tinh khiết, mật độ và tính đồng nhất của cấu trúc vi mô bên trong của vật liệu, nhằm đáp ứng nhu cầu lắng đọng phún xạ magnetron chính xác.
