Phụ tùng cấy ghép Mo Ion

Cấy ion là một công nghệ rất quan trọng trong sản xuất mạch tích hợp hiện đại, sử dụng máy cấy ion để đạt được pha tạp chất bán dẫn. Nó sử dụng dây vonfram làm cực âm để phát ra các electron để bắn phá các phân tử khí chứa các thành phần tạp chất cụ thể, tạo ra các nguyên tử tạp chất cụ thể bị ion hóa được tăng tốc bởi trường tĩnh điện và va vào bề mặt của một wafer tinh thể đơn silicon, sau đó được cấy vào chất bán dẫn để thay đổi các đặc tính dẫn điện và cuối cùng tạo thành cấu trúc bóng bán dẫn.

Do tính chất hóa học ổn định ở nhiệt độ cao, biến dạng nhiệt nhỏ và tuổi thọ dài của vật liệu vonfram molypden, các thành phần nguồn ion và vật tư tiêu hao của máy cấy ion trong ngành công nghiệp bán dẫn chủ yếu được làm bằng vật liệu vonfram và molypden. Các thiết bị này bao gồm ống che chắn để phát ra cực âm electron, tấm phát xạ, thanh cố định trung tâm và tấm dây trong buồng hồ quang. Chúng tôi gọi chung chúng là các bộ phận vonfram để cấy ion và các bộ phận molypden để cấy ion.

Chú phổ biến: phụ tùng cấy ghép ion mo, nhà cung cấp phụ tùng cấy ghép ion mo Trung Quốc, nhà máy