Mục tiêu phun nhôm đồng (AlCu)

Mục tiêu phun đồng nhôm hoàn hảo cho một số ngành công nghiệp và ứng dụng, do độ cứng cao, độ bền kéo và trọng lượng nhẹ. Nó thường có hàm lượng đồng 1-3% và có các tính chất hóa học tương tự như Nhôm. AlCu có các tính chất cơ học cao, khả năng gia công tuyệt vời và phù hợp với nhiệt độ cao, vì vậy nó có thể là vật liệu phù hợp cho hợp kim nhôm hiệu suất cao. Mục tiêu phun hợp kim AlCu có độ tinh khiết cao có thể được sử dụng trong nhiều lĩnh vực công nghiệp từ các thành phần chức năng bán dẫn và điện tử. Với độ tinh khiết cao 5N, kích thước hạt đồng đều, hàm lượng oxy thấp hơn, người dùng cuối có thể đạt được tốc độ xói mòn không đổi cũng như lớp phủ màng mỏng đồng nhất và có độ tinh khiết cao trong quá trình PVD.

Trong sản xuất mạch tích hợp, hiện tượng khuếch tán silic vào lớp liên kết nhôm là hiện tượng thường gặp. Nếu thêm nồng độ silic bão hòa vào nhôm để tạo thành hợp kim nhôm silic, vấn đề này có thể được cải thiện hiệu quả. Vì vậy, chúng tôi cũng sản xuất mục tiêu phun nhôm silic AlSi và mục tiêu phun nhôm silic đồng AlSiCu cho ứng dụng IC.

Mục tiêu phun AlCu99,5/0,5wt%

Mục tiêu phun AlCu99/1wt%

Mục tiêu phun AlCu98/2wt%

Mục tiêu phun AlCu95/5wt%

Mục tiêu phun AlCu90/10wt%

Mục tiêu bắn phá AlSiCu 98,5/1/0,5wt%

Mục tiêu bắn phá AlCuW 98,5/1/0,5 wt%

Chú phổ biến: mục tiêu phun nhôm đồng (alcu), nhà cung cấp mục tiêu phun nhôm đồng (alcu) Trung Quốc, nhà máy