Linh kiện cấy ghép ion vonfram

Chúng tôi cung cấp các linh kiện molypden và vonfram gia công chính xác, chất lượng cao cho các thiết bị xử lý được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, bao gồm Cấy ghép ion, MOCVD, CVD, PVD.

Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm catốt, buồng hồ quang, bộ đẩy, tấm bên/đầu và bộ phận cố định trong nguồn ion của axcelis và bộ cấy varian được sử dụng trong quá trình sản xuất wafer 12" và 16".

Vật liệu vonfram cho máy cấy ion chủ yếu được sử dụng để chế tạo các bộ phận nguồn ion của máy cấy ion. Đây là vật liệu vonfram được làm từ bột kim loại vonfram có độ tinh khiết cao làm nguyên liệu thô, được chế tạo bằng phương pháp luyện kim bột sau đó cán hoặc rèn. Nó có ưu điểm là mật độ cao, độ cứng cao, áp suất hơi cực thấp và độ bền nhiệt độ cao tuyệt vời.

Chú phổ biến: phụ tùng cấy ion vonfram, nhà cung cấp phụ tùng cấy ion vonfram Trung Quốc, nhà máy