Mục tiêu phún xạ đồng-niken-titan được chế tạo bằng cách hợp kim hóa đồng, niken và titan có kiểm soát. Hợp kim tạo ra vật liệu có tính dẫn điện tốt, chống ăn mòn tốt và tăng độ bền cơ học. Do những đặc tính này, mục tiêu được sử dụng trong nhiều ngành công nghiệp, bao gồm quang học, nơi cần có lớp phủ màng mỏng, thiết bị điện tử, nơi cần có lớp dẫn điện, ứng dụng trang trí, nơi cung cấp lớp hoàn thiện và trong cơ khí nơi cần lớp phủ bền và{4}}chống mài mòn.
Các bước quy trình chuẩn bị mục tiêu hợp kim titan-niken-
Chuẩn bị nguyên liệu đầu vào: Sử dụng đồng và niken ở dạng tấm và titan ở dạng xốp, có độ tinh khiết trên 99,9%. Sau đó, lấy vật liệu và cân chúng theo thành phần hợp kim mong muốn, có thể là (Cu: 50-70%, Ni: 20-30%, Ti: 10-20%, ví dụ Cu-30Ni-5Ti wt%).
Quy trình nấu chảy chân không: Cho nguyên liệu ban đầu là đồng, niken và titan vào nồi nấu theo tỷ lệ đã nêu ở trên. Để đạt được kết quả tốt hơn, hãy đặt niken và titan (có điểm nóng chảy cao hơn) bên dưới và đặt đồng lên trên để có thể nóng chảy đều. Sau đó, bạn phải hút chân không khỏi lò để đạt được độ chân không từ 10^-3 đến 10^-4 Pa, sau đó nạp lại argon có độ tinh khiết cao để đạt được bầu không khí bảo vệ. Cuối cùng, nhiệt độ được tăng lên trong khoảng 1600-1800 độ. Vì nhiệt độ này cao hơn điểm nóng chảy của titan (1668 độ), nên tất cả kim loại sẽ nóng chảy hoàn toàn. Khuấy được thực hiện thông qua các phương tiện điện từ hoặc cơ học để đồng nhất sự tan chảy. Nhiệt độ được giữ trong 10–20 phút để giảm sự phân tách. Cuối cùng, kim loại nóng chảy được đổ vào khuôn than chì hoặc đồng đã nung nóng trước và để nguội, tạo thành một thỏi hợp kim rắn.
Xử lý đồng nhất: Thỏi hợp kim được đặt vào lò nung điện trở kiểu hộp- và giữ ở nhiệt độ 800-950 độ (thấp hơn nhiệt độ rắn của hợp kim) trong 2-4 giờ làm nguội lò.
Gia công nóng: Quá trình này liên quan đến việc nung nóng phôi hợp kim đồng nhất đến nhiệt độ từ 700 đến 900 độ C. Ở nhiệt độ đó, hợp kim đi qua máy rèn một chiều hoặc máy cán để biến dạng dẻo thành phôi mục tiêu.
Xử lý ủ: Quá trình xử lý phôi bao gồm việc cân bằng nhiệt độ ở mức 600 đến 750 độ C trong 1-2 giờ, sau đó phôi có thể được làm mát bằng không khí hoặc bằng lò.
Gia công: Phôi mục tiêu trải qua các quá trình như dẫn, tiện và mài bề mặt để có được kích thước mục tiêu và độ hoàn thiện bề mặt.
Công dụng của mục tiêu hợp kim titan Đồng{0}}niken-
Điện tử: Được sử dụng làm lớp rào cản trong màng mỏng cho chất bán dẫn và màn hình.
Lớp phủ quang học: được sử dụng cho một khía cạnh của việc sản xuất gương và bộ lọc có độ phản chiếu cao.
Lớp phủ{0}}chống mài mòn: được sử dụng trên bề mặt của dụng cụ và khuôn để tạo lớp phủ bảo vệ cứng.
Lớp phủ trang trí: được sử dụng để tăng cường vỏ điện thoại di động, đồ trang sức và các vật dụng trang trí khác bằng lớp phủ bảo vệ cứng.
Hàng không vũ trụ: Được sử dụng để cung cấp các lớp phủ chức năng có khả năng chống oxy hóa cao và nhiệt độ cao.
