Mục tiêu phún xạ của hợp kim sắt niken-coban{1}}có chứa các tỷ lệ cụ thể của niken (Ni), coban (Co) và sắt (Fe). Các hợp kim này được chế tạo thành các mục tiêu phún xạ phẳng hoặc quay và được sử dụng trong các ngành công nghiệp bán dẫn, quang điện, quang học chính xác và lớp phủ chức năng. Quá trình điều chế các hợp kim này rất cụ thể và đòi hỏi phải chú ý đến từng chi tiết để đạt được thành phần hóa học đồng nhất, mật độ trạng thái rắn{4}}, độ tạo hạt đồng đều và chất lượng của bề mặt.
Phương pháp điều chế niken-Coban-Mục tiêu phún xạ hợp kim sắt
Nấu chảy nguyên liệu thô: Các khối niken, coban và sắt có độ tinh khiết cao được cân đối và đưa vào lò nấu chảy cảm ứng chân không. Các vật liệu được nung nóng trong chân không cho đến khi chúng tan chảy hoàn toàn và được khuấy trộn để ngăn chặn sự phân tách thành phần.
Đúc và tạo hình: Hợp kim sắt coban niken nóng chảy được đổ vào khuôn than chì và được làm nguội để thu được phôi hợp kim và ngăn ngừa sự hình thành các hạt thô.
Rèn và cán: Hợp kim phải trải qua quá trình rèn ở nhiệt độ cao và cán nóng để phá vỡ cấu trúc đúc.
Gia công và liên kết: Vật liệu hợp kim sắt niken-coban-được cưa-cắt thành hình và tổng hợp.
Công dụng của mục tiêu phún xạ hợp kim sắt-Coban-
Mạch tích hợp, trong đó nó được sử dụng cho các lớp rào cản khuếch tán Cu, điện cực hai lớp Ta/CoFe và các lớp không có mối nối đường hầm từ (MTJ).
Pin mặt trời màng-mỏng, trong đó nó đóng vai trò là điện cực phía sau hoặc lớp đệm để tăng cường khả năng tiếp xúc điện trở và độ bền thời tiết.
MEMS và Cảm biến được sử dụng trong sản xuất cuộn cảm có tổn hao-thấp, lớp bảo vệ từ tính và bộ truyền động từ-vi mô.
Lớp phủ chức năng bề mặt được sử dụng làm lớp phủ -chống mài mòn, chống ăn mòn- và trang trí cho các bộ phận ô tô, ốc vít hàng không vũ trụ và bộ phận cấy ghép y sinh.
