Mục tiêu phún xạ có thể được chia thành mục tiêu phẳng và mục tiêu xoay theo hình dạng của chúng. Mục tiêu phẳng là mục tiêu dài, mục tiêu hình vuông hoặc mục tiêu tròn có độ dày nhất định, v.v., được tạo ra bằng cách ràng buộc mục tiêu trống và tấm lót. Trong quá trình phún xạ, mục tiêu trống và chất nền song song với nhau và một trường điện từ được hình thành giữa mục tiêu trống và chất nền. Các mục tiêu quay là các mục tiêu hình ống và một trường điện từ được hình thành về phía chất nền trong quá trình phún xạ. Mục tiêu phẳng linh hoạt hơn nhưng có tỷ lệ sử dụng thấp hơn; mục tiêu quay có tỷ lệ sử dụng cao hơn nhưng độ đồng đều của lớp phủ kém.
Ưu điểm của mục tiêu luân phiên
1. Mục tiêu quay có mức sử dụng vật liệu cao hơn
Các mục tiêu quay có thể tiêu thụ đồng đều bề mặt mục tiêu trong quá trình quay, do đó cải thiện việc sử dụng vật liệu của mục tiêu, thường có thể đạt 70% -90%. Tuy nhiên, do chỉ có một mặt cố định của mục tiêu phẳng liên quan đến quá trình phún xạ nên các "rãnh" hoặc "hố" sẽ được hình thành trong quá trình sử dụng, dẫn đến mức tiêu thụ vật liệu không đồng đều và tỷ lệ sử dụng vật liệu thường là 30% -40%. Đối với các mục tiêu đắt tiền (chẳng hạn như kim loại quý hoặc vật liệu đất hiếm), các mục tiêu luân phiên có thể giảm đáng kể chi phí và cải thiện lợi ích kinh tế.
2. Mục tiêu quay có độ đồng đều phún xạ tốt hơn
Các mục tiêu quay sẽ quay liên tục trong quá trình hoạt động, sao cho mỗi vị trí trên bề mặt mục tiêu đều tiếp xúc với plasma, tạo thành tốc độ phún xạ đồng đều hơn. Điều này có lợi thế rõ ràng cho các ứng dụng có yêu cầu cao về tính đồng nhất của màng (chẳng hạn như màn hình và quy trình bán dẫn). Các mục tiêu phẳng có xu hướng có độ dày màng không đồng đều do hiện tượng phún xạ quá mức cục bộ, đặc biệt là trên các chất nền có diện tích lớn hoặc sản xuất liên tục.
3. Mục tiêu quay có tuổi thọ dài hơn
Vì mục tiêu quay tiêu thụ vật liệu đồng đều hơn nên tuổi thọ sử dụng của chúng thường dài hơn so với mục tiêu phẳng. Điều này có nghĩa là trong cùng điều kiện làm việc, tần suất thay thế mục tiêu quay sẽ thấp hơn, giúp giảm thời gian ngừng hoạt động của thiết bị và nâng cao hiệu quả sản xuất. Đối với một số quy trình sản xuất liên tục, chẳng hạn như lớp phủ-có diện tích lớn và lớp phủ từ cuộn-đến-cuộn, mục tiêu xoay có thể kéo dài đáng kể chu kỳ sản xuất và giảm chi phí bảo trì.
4. Mục tiêu quay có chất lượng phim cao hơn
Lớp phim được bắn ra bởi mục tiêu quay dày đặc hơn và đồng đều hơn, phù hợp với một số ứng dụng có yêu cầu cực kỳ cao về chất lượng phim (chẳng hạn như-thiết bị điện tử cao cấp và sản xuất thiết bị bán dẫn). Điều này là do mục tiêu quay có thể làm giảm hiệu quả các khuyết tật do phún xạ không đồng đều trên bề mặt mục tiêu và cải thiện chất lượng cũng như tính nhất quán của lớp màng.
Phần kết luận
So với các mục tiêu phẳng, các mục tiêu quay có mức sử dụng vật liệu cao hơn, thời gian sử dụng lâu hơn, hiệu ứng phún xạ đồng đều hơn và khả năng thích ứng với-diện tích lớn và sản xuất{1}}số lượng lớn. Điều này làm cho mục tiêu quay trở thành lựa chọn quan trọng trong lĩnh vực lắng đọng màng mỏng hiện đại, đặc biệt là trong-lớp phủ diện tích lớn, sản xuất liên tục và-sản xuất thiết bị điện tử cao cấp.